LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102L-TC
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102L-TC
質量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
型應用場景
1. 半導體制造:
晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)
CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)
2. 新能源領域:
燃料電池氫氣供應(動態(tài)響應<50ms)
鋰電材料燒結(N?/O?混合控制))
3. 制藥行業(yè):
生物反應器氣體供應(O?/CO?/N?三聯(lián)控)
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
|
Low | 80~100℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
high | 100~120℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
技術發(fā)展趨勢
智能化升級:
集成AI預測性維護功能
5G遠程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展:
MEMS流量傳感器(芯片級集成)
適用于便攜式分析儀器
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商,以*的產(chǎn)品質量和*的解決方案聞名。
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